二手 ASM SP 32 #9248373 待售
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ID: 9248373
晶圆大小: 6"
Horizontal furnace, 6"
4-Stack
Nitride: Tube
Alloy: (3) Tubes
MRL Black MAX furnace tubes
Temperature: 1200° Max
AMAT / APPLIED MATERIALS T-1000 Variable speed pump for nitride tube
Main body loader: Paddles & TC included
Includes:
Furnace
Gas box and controller unit
SS Gas detection box
Chiller unit for furnace
Electronics and controllers
Vacuum and miscellaneous
Furnace chiller shroud
~1996 vintage.
ASM SP 32是设计用于研发实验室的高温扩散炉。该炉将快速加热和冷却循环与精确的温度控制结合在一起,在多种条件下产生高度精确的热处理。该单元的多功能设计允许其配置各种配件,以适应广泛的材料处理应用。标准配置包括一个集成的炉膛,一个大的加热表面,以及手动和可编程的样品加热和冷却。炉房采用坚固的全钢结构,内部容积32升,外壳紧凑,可提供最佳隔热效果。这个腔室的有效工作温度范围从室温到1500 °C,可以在大气层、真空或两者的组合中操作。不锈钢网台提供可同时容纳多个样品的大加热表面。用精确控制的温度对表面进行独立加热和冷却。该装置配有模块化的炉控制设备,由两个数字热电偶输入、一个手动设置旋钮和一个易于使用的编程接口组成。这些组件允许精确的温度变化和控制过程的准确反馈。而且,系统的响应时间可以根据所处理的材料进行调整。该炉还配有多种配件,以提高通用性,包括泵和排气套件、石英托盘、绝缘锁和辅助部件。此软件包将必要的组件捆绑在一起,以创建一个多合一材料处理单元。SP 32扩散炉是空间狭窄和/或预算有限的研究实验室的理想选择。它为各种材料的热处理提供了一个全面的解决方桉,具有高质量的结构、快速的坡道速率、先进的控制机器以及一系列的配件。
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