二手 ASM UHV-A600 #9144030 待售

ASM UHV-A600扩散炉设计用于高功率、超高真空惰性气体应用。该炉是开发先进材料的高性能、多功能、可靠的工具，具有优良的蚀刻能力和精密的表面制备。这款扩散炉采用高速皮带驱动的热区加热器设计，可提供高达1400 °C的温度。热区由石英室封闭，石英室有M63个螺钉，便于进入有保护的后装载环境。这种载荷后环境有助于确保整个腔室的温度分布一致且均匀，并允许炉子实现极好的扩散剖面均匀性。石英室也用于防止外界空气污染。该炉配有功率较大的8.5 kW射频发电机和热区振荡器，以保证整个炉体的均匀加热。直观的触摸屏界面引导操作员完成炉子的设置和控制。控制设备还包括实时数据记录系统和将数据导出到计算机进行分析的能力。UHV-A600扩散炉还具有先进的惰性气体控制系统。该炉可配置为在许多工艺应用中使用氙气、氮气或其他反应性气体。这包括调节加热气体的流量、压力和流量控制，以确保目标材料的均匀扩散。用户还可以在几分钟内将炉温曲线调整至所需参数。ASM UHV-A600扩散炉还配有一系列配件，以最大限度地提高其效率和灵活性。其中包括：气体分配歧管、循环泵、5口阀和过滤器、气压计和通风口。气体歧管确保向炉子提供均匀的气体，并由强大的电动机提供动力，以支持高功率的应用。循环泵在炉内循环气体，在热区提供均匀的温度分布。最后，通风机有助于从热区排出气体，并有助于保持炉内的高清洁度。这种顶级扩散炉为用户提供了更高水平的性能和可靠性，是广泛应用的理想解决方桉。UHV-A600扩散炉具有先进的加热能力和惰性气体控制系统，是满足先进制造工艺需求的理想解决方桉。