二手 ASM UHV-A600 #9144820 待售

ASM UHV-A600
製造商
ASM
模型
UHV-A600
ID: 9144820
晶圆大小: 8"
Thermal HSG system, 8".
ASM UHV-A600是一种扩散炉及其附件,用于实验室晶体生长.这种先进的设备设计用于可靠、安全和可重复的外延沉积过程,同时捕获准确和可重复的数据。UHV-A600是一个专用的薄膜沉积系统。它利用Varian的Turbo分子泵机实现了业界最高的泵送速度和最低的电力负荷,同时保持了一贯的高真空。这有助于优化原材料沉积速率并确保最高质量的薄膜。ASM UHV-A600与所有常用的生长底物和分子束外延源兼容,并配有用于监测底物温度的2D映射阵列,从而能够精确控制薄膜沉积。这台机器专为高吞吐量而设计。凭借其先进的设计以及快速响应元件,UHV-A600可以更快地生产用于广角X射线衍射分析的薄膜样品。该工具配有气线接口和多个端口,以确保敏感沉积过程中稳定、纯净的无氧化环境。ASM UHV-A600还包括一个全自动预处理室。该腔室设计用于在薄膜沉积之前清除表面污染物。此外,该室还配备了惰性气体净化资产和涡轮分子泵送(TMP),以进一步优化环境。除了UHV-A600外,瓦里安还提供多个加热元件和样品室,以适应每个沉积过程。这些元件包括红外(IR)灯、电阻加热元件和石英增强灯。每个都为表征膜沉积提供均匀的加热。此外,先进的超高压系统包括一个多区域扩散加热器,它允许一个更复杂的增长环境。ASM UHV-A600还包括一个温度控制的底物卡盘,可用于微调沉积过程中的底物位置。此外,卡盘还配备了一个可选的样品冷却级,可以精确控制薄膜厚度。UHV-A600还包括高级仪器。这包括ABelec 500电压电源,它提供稳定、可重复的性能,具有低噪声谱.这确保了沉积过程的准确描述,并实现了准确的数据捕获。为完成该模型,ASM UHV-A600还包括真空管理设备。该系统设计用于执行精确的自动阀门排序、生成快速循环时间和减少处理错误。真空管理单元还包括一个遥控站,用于监测机器的行为。总之,UHV-A600是实验室晶体生长先进、用途广泛的扩散炉.它设计用于可靠、安全和可重现的外延沉积过程,同时捕获准确和可重复的数据。ASM UHV-A600具有可靠的刀具设计和先进的仪器设计,是薄膜沉积工艺的理想工具。
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