二手 ASYST / PST DO-FF-HTO 15100-300 #9170685 待售

ASYST/PST DO-FF-HTO 15100-300是高温薄膜和多晶硅沉积应用的先进扩散炉。它具有令人印象深刻的一系列特点，包括模块化设计、高吞吐量、精确的温度控制以及严谨的安全设备。15100-300的模块化设计允许轻松定制和灵活性。它可以使用内置端口接入点快速访问和维护,而且种类繁多的可互换部件使用户能够根据自己的需要对其进行定制。大的腔室面积和宽广的温度范围也允许一个令人印象深刻的应用范围。15100-300的设计提供高吞吐量、精确度和精确度。精确的温度调节系统利用先进的热敏传感器来监测温度，确保各批次的沉积一致性。该炉还配有大功率加热器，以提供快速退火时间，以最短的工艺时间保证高产。15100-300还具有一个坚固的安全装置，如果感觉异常，它会自动关闭炉子元件的电源。它结合了其他安全特性，如对腔室和排气口的三层保护，以及在压力平衡异常情况下会触发的限压开关。总体而言，PST DO-FF-HTO 15100-300是一种可靠且用途广泛的扩散炉，适合广泛的应用。以其模块化的设计、高通量、精确的温度控制、严密的安全机器，是高温薄膜和多晶硅沉积应用的理想选择。