二手 ASYST / PST Melitas F30 #293668011 待售

ASYST/PST Melitas F30是一种用于基材热处理的最先进的扩散炉设备。该系统适用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）、原子层沉积（ALD）和外延等一系列先进工艺。该装置由一个F30炉组成，该炉具有进行快速热处理的能力，以及一个7真空循环负载锁，用于将基板送入和送出腔室。该炉由高真空额定不锈钢构成，可用腔室尺寸为25英寸乘25英寸。它可以接受直径不超过8英寸、厚度不超过0.15英寸的基板。F30扩散炉可处理高达950 °C的基板。设计用于室内温度的最优均匀性和均匀性。这是通过多区加热器阵列和先进的原位温度控制器，具有高精度传感器和温度控制算法来实现的。此外，F30扩散炉还配备了CCD摄像头，用于在加工过程中监控基板。该相机可用于获取蒸发和冷凝过程的实时信息，以及验证腔室的清洁度和清洁度。F30炉中使用的基板载体采用高温铝合金制成，内衬高温绝缘材料，最大限度地保持热量。载流子的特点是石英频闪，以提高真空净化性能，以及一个中央射频线圈，用于精确的基板温度控制。该机兼容PST和ASYST Melitas的一系列配件产品。这些包括用于低温应用的冷陷阱、用于低真空应用的负载锁、不锈钢样品托盘、石英界面组件和替代加热器元件。F30扩散炉是一种可靠、经济高效的基材热处理工具。它坚固易用,是各种高级流程应用程序的绝佳选择。