二手 ASYST / PST Melitas F303VD #9375207 待售

ASYST/PST Melitas F303VD是一种扩散炉和附件封装,旨在促进半导体器件制造基板部件的快速加热和转换过程。它提供了高级控制功能,允许精确监控、调整和可重复操作,使其成为现代设备制造的理想解决方桉。该炉由一个石英室组成，分为两段，允许合金在当今半导体制造所需的温度下扩散或退火。它具有加热石英顶板均匀加热、表面光滑的特点，以及用于优化温度轮廓控制的大侧室。该炉包括一个真空系统通过与集成涡轮泵.该系统可达到高达1000 °C的温度，并维持长达30分钟的处理时间。PST Melitas F303VD配有一套旨在提高工艺效率的配件,例如用于控制背景压力的气压室,以及用于测量和控制基板温度和压力的过渡件、热保险丝和PCM7工艺控制器。Process Controller支持多个流程配方,允许操作员存储多达100个带有设置点的参数,从而在必要时实现快速精确的流程调整。它具有两行字母数字LCD和弹性体键盘,易于编程,并具有插槽硬件,可快速更换。ASYST Melitas F303VD旨在提高半导体器件制造过程的效率和可用性。它配备了高级控制功能,以简化操作并实现快速处理,使其成为现代制造过程的理想解决方桉。