二手 ASYST / PST Melitas F30VD #9246528 待售

ASYST/PST Melitas F30VD是一种用于硅片高性能掺杂的扩散炉及配件。它设计用于需要低温/高精度扩散过程的应用，如生产发光二极管（LED）、吸光二极管（LAD）、太阳能电池和其他高性能电子产品。无化石自动加载系统允许经常掺杂直径达14英寸的硅片，非均匀性小于2%。使用垂直热壁和自然对流的可重复加热过程可确保晶圆直径的温度均匀性。这种扩散炉能够在很大范围内稳定地控制温度，在垂直炉中独立控制高达1250°C的工艺温度。它还具有真空炉循环能力和高压气体控制功能，可用于硅片的均匀和局部高掺杂。气流配置可以根据应用为各种掺杂技术设计。PST Melitas F30VD扩散炉的优点包括循环时间缩短了40%，选择性和横向均匀性提高，掺杂水平精确，掺杂分布放大。此外，计算机控制的气体输送和获得专利的热墙控制将表面污染物对扩散过程的影响降至最低。集成的机械手和可拆卸的晶片盒式磁带确保了硅晶片的安全和方便的传输，并减少了处理和污染。ASYST Melitas F30VD扩散炉由于其灵活的设计和与过程和控制系统的接口能力，提供了可靠、一致的结果。随着增强型功能集，如自动掺杂物发送系统、集成过程流调试、可调晶体轮廓调谐，这种扩散炉非常适合高性能电子产品的大批量生产。