二手 ASYST / PST Melitas F30VH #293668221 待售

ASYST/PST Melitas F30VH是一种先进的扩散炉和附件,旨在实现精密晶圆、模具和基板加工。该F30VH采用先进的热电偶和温度控制系统，以及一系列安全功能，旨在确保操作员的最佳安全。PST Melitas F30VH是各种基材扩散过程的理想解决方桉，包括硅片、薄膜和电介质。顶端炉的最高温度等级为1300 °C,可满足广泛的扩散处理需求。注重效率的设计还包括4区加热，以及循环冷却，以确保整个过程的精确温度控制。为了便于使用和维护,ASYST Melitas F30VH配备了直观的控制系统和远程监控/辅助功能,可方便地从任何远程设备访问熔炉的重要操作信息。该炉还包括一个专利惰性气体输送功能与温度循环配对，允许优化，工艺为基础的启动和关闭程序。Melitas F30VH包括一个具有全面安全功能的温度控制器，在扩散过程中保护人员和过程。集成热管理系统采用整体反馈回路精细控制温度，具有实时监控，确保安全、准确运行。该装置还包括一个自动清洁循环，编程为自动清洁炉子的内室，为随后的晶圆和基板工艺做准备。清洁周期还降低了污染风险，并确保了可重复和可靠的性能。最后,密封结构有助于保护设备,并确保在各种环境中安全可靠地运行。该设备还具有高能效，具有多模式电源设置，以降低能耗和相关成本。ASYST/PST Melitas F30VH是各种应用的理想扩散炉,因为其尖端的安全系统、精确的温度控制和全面的过程监控为任何晶圆、模具或基材过程提供了可靠而高效的解决方桉。