二手 AXCELIS XT300 #9390658 待售

AXCELIS XT300扩散炉是一种可靠、先进的设备.这一模型是专门为扩散和相关过程如氧化和外延生长而设计的。采用立式结构设计和惰性气体净化设备，XT300保证均匀的材料加热，优化生产。此型号附有一个标准的2 "x2"石英磁化器用于腔室，以及几个可选的石英磁化器，包括4 "x4"、4 "x6"和6 "x8"。其温度均匀性达到+/-2°C，是半导体加工成功的优越稳定性水平。此外，由于其同轴冷却系统和PID控制器，温度的达到是相关的和可控的。此外，AXCELIS XT300包括真空预热器等多种配件，改善材料流动的陶瓷挡板，以及允许装卸多功能性的光电单元。所有这些功能都提供了更高的吞吐量,同时可以容纳各种晶圆尺寸。扩散炉配备了强大的可编程时钟面板，允许用户为任何给出的多步过程定制时间和温度轮廓控制。另外还有一个可清洁的棱镜卡带和一个中央制表机.这个工业扩散炉还拥有快速加热工具，能够在12分钟内达到1200°C的温度。而且，自动给药资产结合独特的超低氮气净化，节省能源，保持精确的温度控制。总体而言,XT300扩散炉是一个可靠可靠的模型.其特点使得它非常适合困难的高温扩散过程。AXCELIS XT300具有直观的CO控制器、均匀的温度设置、低能耗和多种石英敏感性,使得扩散方面的任何任务都显得毫不费力。