二手 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9227403 待售

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT是一种具有集成加热元件的扩散炉，提供精确且均匀的热分布。它由加热室、炉控制单元和附件组成。加热室设计可容纳多达25个标准尺寸的载流子。这些载体可以配置为溅射、PECVD、离子注入、快速热退火和氧化过程。炉子控制单元允许对所有加热元件进行精确控制。它具有四个组件温度控制器,可提供± 1°C的综合精度。控制单元还包含一个自适应预测控制器函数，该函数调整温度曲线，以实现更好的过程均匀性。此外,用户界面允许方便的参数设置和监视,并且最多可以记录20个单独的配方。NEY MACS-25-US-HIT的附件包括高速涡轮分子泵，用于创造高真空环境。这种变速泵能达到高达10-6 torr的真空。此外，该系统还包括一个冷库，用于捕获和储存挥发物，以防止对加热环境的污染。为了便于安装，BLACKSTONE MACS-25-US-HIT交付了包括工艺控制器、高速涡轮分子泵、冷陷阱、载波支撑、气线、电源连接在内的所有必要组件。它还配备了机械起重机构，用于简化载具的插入和拆卸。MACS-25-US-HIT扩散炉是一种可靠和通用的解决方桉，非常适合半导体工业的各种应用。其精确的温度控制和均匀的加热能力使其适用于溅射、PECVD、离子注入、快速热退火、氧化等复杂过程。它还以高速涡轮分子泵和冷捕器为特色，营造出高真空、无污染的环境，而其直观的用户界面和便捷的配件则促进了高效、方便的操作。