二手 BRUCE BDF-41 #293764077 待售
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BRUCE BDF-41是一种高温扩散炉和辅助设备，设计用于在高温晶圆制造环境中执行多个过程。它是石墨烯合成和薄膜沉积过程中需要快速加热速率和精确温度控制的理想解决方桉。BDF-41是一种具有20晶片容量的研究级扩散烤箱，其特点是钼石墨熔炉被氧化铝绝缘块包围。烤箱能够运行到1000 °C，允许广泛的可扩散气源用于薄膜沉积和石墨烯合成。烤箱包括用于快速加热速率的外部安装石墨加热元件，以及用于精确控制温度和梯度控制的精密多段温度控制器。自动晶圆定位系统保证了均匀的处理和最佳的扩散条件。BRUCE BDF-41还具有一个多区域屏蔽单元，可防止工序室氧化，并能保护熔炉免受灰尘侵袭，从而实现最佳的工序执行。扩散炉包括一个用于超高纯度工艺环境的综合辉光放电室和一个与其他实验室系统完全集成的自动化控制模块。此外,用户友好的液晶屏和键盘接口能够精确控制过程参数,从而实现精确的可重复结果。BDF-41是一种专为高温晶圆制造环境而设计的先进扩散炉及附件机,具有精确的温度控制、快速的加热速率和卓越的屏蔽能力。
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