二手 BRUCE / BTU BDF-4 #9245270 待售

ID: 9245270
晶圆大小: 6"
优质的: 1984
Oxidation / Diffusion furnaces, 6" 4-Stacks Right to left In-line style source cabinet Spare parts included Stainless steel exhaust scavenger Stainless steel gas manifolds With regulators Filters Manual valves Gases: N2 30 SLM UFC 2000 H2 40 SLM UFC 2000 O2 20 SLM UFC 2000 HCL 2 SLM UFC 2000 Ar 30 SLM UFC 1000 O2 5 SLM UFC 1000 Connected load: ~ 96 kVA at 480 VAC Supply voltage: 440/480 VAC, 60 Hz, 3 Phase 1984 vintage.
BRUCES/BTU BDF-4是一种先进的自动化扩散炉,设计用于从研发到生产的各种操作。扩散炉用于创建具有特定于每个特定应用程序的精加工厚度的固体表面。BTU BDF-4的特殊设计和配置特别适合于需要大量受控步骤的扩散、加热、冷却和其他过程的生产序列。BRUCE BDF-4有一个真空密封室,旨在均匀分布高达2000 °C的温度。这种分布使得每次都能获得最佳的过程结果。此外,该炉还包括用于测量多个过程变量(包括流量、温度和压力)的集成仪器,并为可重复结果提供自动控制功能。BDF-4设计用于加工各种基材,包括铝、不锈钢和钨等。特别是,扩散炉被设计为通过使用真空或氧气气氛来减少杂质。此外,该炉还设计用于高效加工陶瓷和半导体基板,使其适合各种应用。BRUCE/BTU BDF-4还包括一些定制的配件,以满足客户的生产要求。该炉具有磁性夹具,便于将基板固定到位,提高了生产过程的均匀性和可靠性。此外,该炉还具有防裂通路门和安全观察双成像石英窗等安全特性。最后,BTU BDF-4由具有21 CFR第11部分合规性的带GUI软件的PLC/PC系统提供支持。此软件旨在简化标准流程和自动化更复杂的生产序列。这有助于提高生产效率和可重复性。此外,PLC/PC系统具有多种语言选项,可方便多个国家的用户。总体而言,BRUCE BDF-4是一种先进的自动扩散炉,提供过程的均匀性和对一系列基板的控制。其集成的仪表、可定制的附件和PLC/PC系统确保了对扩散过程的全面控制,并有助于提高生产效率。
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