二手 CENTROTHERM 5 #184929 待售

CENTROTHERM 5是一种扩散炉和附件封装，用于处理半导体和电子工业的工业应用。该设备设有直列式气体面板、输送机器人、惰性气体面板和高压扩散装置。内联气体面板可控制多达八种不同气体的流动。这种气体面板的设计是为了保持一个大的动态范围一致的气体压力。此外,该面板将允许流量保证,而没有背压的风险.机器人提供了一个输送系统，可以通过使用惰性气体沉积多达四种材料。该机器人的设计可提供最大精度和精度控制。机器人还配备了车载视觉单元，以确保高精度沉积。惰性气体面板设计用于确保高压扩散系统的非反应性大气。该面板能够通过控制气体溷合物中常见元素的比例，为炉子的运行提供可靠的气体屏障。对于高压扩散，5配备了真空管，允许受控过程压力高达1500毫巴。该机还有一套用于隔离和水库管理的开放区域。还提供了多种可选配件,以提高工具的灵活性。为确保过程控制和安全,CENTROTHERM 5与监测系统集成在一起。监控系统包括温度控制器和热特征管理资产，允许用户监控整个扩散过程。该型号还具有提供整个设备实时数据的ST-Watch接口。5是半导体和电子工业中高度可靠的加工应用的理想扩散炉及附件包装。该系统具有广泛的功能，使其能够处理高精度和一致的结果。凭借对工艺参数的管理和控制能力，CENTROTHERM 5可以为用户提供其工业应用的可靠结果。