二手 CENTROTHERM Activator 150 #293814126 待售

CENTROTHERM Activator 150
ID: 293814126
晶圆大小: 6"
Diffusion furnace, 6".
CENTROTHERM Activator 150是工业设计的扩散炉,以最小的空间需求方便晶圆的高通量处理。其设计允许每批处理多达150个晶片,适用于扩散、氧化、氮化和脱气等多种不同的应用。该炉采用密封不锈钢室建造,主动加热区长50厘米。它还具有隔热功能,具有两区内钟形加热设备-带陶瓷绝缘体的区域和带主动加热元件的区域-结合了均匀性和温度控制的精度。炉内温度区的均匀性在900°C时 ±为2°C。由于采用了先进的红外端点检测系统,控制器测量温度并将其用作端点,以最佳方式确保精确的温度要求。激活器150配备了先进的装卸系统,可以高效、安全地清除物料。专有的Hi-Touch Xpress加载/卸载单元非常适合快速晶圆处理,平均卸载时间约为40秒。该炉的设计也考虑到了安全性--该机包括主动冷却技术、先进的nooxid过滤工具和一氧化碳监测机制。每一项资产的设计都能提供最大程度的操作员安全,同时确保产品完整性的最高标准。CENTROTHERM Activator 150有一系列专门设计的附件作为后盾,提供了改进的功能和更大的灵活性。广泛的附件(包括Hi-Flow冷却模型、乙二醇循环设备和冷大气封盖系统)扩展了可以使用激活剂的应用范围。总体而言,Activator 150是一种高性能扩散炉,用于工业加工各种材料,其设计的中心是安全性和准确性。它结合了工业级单元的鲁棒性和定制运动机器的灵活性和效率,使其成为许多行业制造商的理想选择。
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