二手 CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 #9163724 待售

CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1是一种世界级的扩散炉和配件,专门设计用于半导体应用的自动化和优化生产过程。E1200 HT 260-1提供了一个强大的多区气体通量热处理室，具有精确的温度和过程控制，与传统的扩散炉相比，允许基板的流动性和区域的灵活性，同时减少氮消耗。通过内置的温度和复合浓度监测和控制，这种设备大大提高了任何尺寸的晶片基板的均匀性和效率。E1200 HT 260-1的先进扩散炉设计为各种基材尺寸提供了多种工艺功能和灵活性。保护玻璃面板包含一个大的、易于使用的触摸屏控制系统，带有基于图形的软件，使用户能够对各种功能进行编程，包括单独的区域选择、温度控制和沉积速率设置。气体面板配有流量调节器，在扩散过程中精确调节氮气或氙气的速率。E1200 HT 260-1具有坚固耐用的不锈钢腔室设计和改进的绝缘单元,可实现最高温度均匀性和效率。独特的气体热分布技术（GFT）在整个基板上提供高均匀性，具有出色的温度稳定性。此外，该腔室还结合了先进的硅基板蚀刻能力。室内传感器控制的热电偶用于监测和控制每个区域的温度状态。E1200 HT 260-1是一款人性化的机器，能够直接从主控制站方便地存储、召回和修改配方。该工具能够与PC和CAM系统联网,以便在处理过程中自动选择配方并监控晶片。此外,可互换子系统允许在单个紧凑单元中轻松切换扩散和蚀刻过程。Centronic E1200 HT 260-1是满足最严格的半导体器件要求的理想扩散炉。E1200 HT 260-1结合了先进的控制器、可靠的腔室设计和先进的工艺特点,提供了高效的热工艺套件,以满足最严格的应用要求。