二手 CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 #65626 待售
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ID: 65626
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
LPCVD diffusion furnace, 6”
3-Stack
Set up for: nitride, low-temperature oxide, and insitu low-temperature poly
Toxic gas exhaust
Control cabinet
Gas cabinet
(2) Quartz tubes
Spare parts
CE Marked
3rd position configured with heaters, no tubes
Internal diameter of the quartz tube: ~245mm (9-5/8")
Software:
IBM OS/2 warp V4 OEM preload
IBM Assy for PC ASS UK media pack WAR 0400 P/N: 65H1169A
Spare parts included in several boxes:
Flanges
Fittings
Parts for assembly of the system
Additional items available :
Ammonia purifier system (this may be part of the furnace system as the drawing does show a scavenger)
(2) Edwards Q61-51-006 dry pumps
Used Air products gas guard cabinets for:
Dichlorosilane (2 bottles + N2)
Silane (2 bottles + N2)
Ammonia (2 bottles + N2)
5% Phosphine & Nitrogen (2 bottles + N2).
No loading system
No Computer
No vacuum pumps
48 kW, 0 A, 50 Hz
Crated
2001 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3是一个扩散炉及其附件，旨在提供无缝、高效和可靠的操作。该炉采用高品位材料制成的钼热元件，性能最高。这样可确保任何给定基板的使用寿命长,且温度一致且均匀。Centronic E1200可确保快速高效的冷却速率,降低能耗并提高任何红外工艺的效率。它仅用30分钟就能达到1350°C的最高加热温度，最大坡道速率为每分钟8°C，确保温度快速精确地升高或降低。Centronic E1200 HT260-3占地面积小,空间效率高,几乎适合任何环境。该炉设有惰性热区，适合处理有害气体和介质。它支撑着两件式真空密封门，并具有出色的过滤系统，可以清除所有颗粒和污染物，以确保每次都有高质量和清洁的基板。Centronic还配备了一个集成的点对点控制器,该控制器用户友好,可以手动控制,通过板载触摸屏界面轻松操作和编程。它允许用户设置不同的目标温度、时间,并可用于跟踪进程,以确保一致的复制。该炉还有一个灵活的移植系统，使其能够连接到多个设备和附件，如不同的冷却和排气系统，从而确保安全和适当地处置过程中排出的烟雾。它还与各种电源协调，并具有减少不必要的能源消耗的能力。CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3具有坚固的结构、优异的性能和精确度,是散布各种基板的理想选择,可确保高品质材料和卓越的可重复性。它具有良好的温度控制和速度能力，非常适合实验室测试、加工和生产。
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