二手 CENTROTHERM E 240 #163732 待售

CENTROTHERM E 240是为半导体制造而设计的扩散炉。它将热氧化、气相表面活化和半导体层的相互扩散结合成一个循环。用户友好和模块化的设计允许较短的周期时间和极端的过程控制。该炉由一个密封的石英封闭热区组成，最高工作温度为1250 °C。它配备了一些先进的过程控制仪器和自动化的装卸系统。除主炉外，E 240还包括一些专门的工具和配件，用于基板表面活化、气体分布和温度控制。其中包括高速气体输送泵、高精度气体计量、多气体分配歧管和先进的气流控制器。该炉还配备了多项安全功能，包括过温警报、紧急停止功能和自动关机功能，以在极端温度变化的情况下保护热区。自动装卸系统可以设置为连续运行或在用户定义的参数下运行。快速循环时间和温度均匀性保证了近乎完美的运行和效果。CENTROTHERM E 240也非常适合大批量生产和产品开发。过程自动化程度的提高、内部体积的增加和高效的气体供应保证了产品的高吞吐量和产量。自动化的加载和卸载系统,以及可配置的过程监视,使用户能够以最小的停机时间维持可预测的生产计划。综上所述，E 240为用户提供了最大的可靠性和控制力，允许高性能生产。它采用模块化设计，可根据个别工艺要求量身定制，为用户提供成本效益高的扩散炉解决方桉。许多世界领先的技术公司信任CENTROTHERM E 240的关键扩散过程。