二手 CENTROTHERM E 240 #293622222 待售

CENTROTHERM E 240是专门为中型半导体制造应用而设计的扩散炉及附件封装。它提供快速、经济高效的晶圆加工，具有出色的均匀性和颗粒控制。E 240由安装在刚性不锈钢底座上的温度控制、垂直方向的水平炉室组成。这个房间有隔热的合金墙和门.环状SiC加热元件压铸到侧壁，而耐火基线确保高热均匀性。整个腔室是真空密封的，保证了无颗粒的环境。炉门通过电子方式与控制设备相连，确保操作过程中的最大安全，并提供广泛的控制功能。该系统还具有电子自我保护装置，以防止热失控、过程超调和超速。腔室壁的低热质量允许快速、高效的坡道速率,使某些应用程序的过程时间减少到3分钟。精确的温度控制可实现均匀和可重复的处理,在晶圆级别具有+/-1degC的温度均匀性。一个新的高效净化装置提供快速的热循环时间和均匀的低氧水平。购买CENTROTHERM E 240的过程时间非常短,拥有成本也很低。E 240的高级控制机器提供了一系列复杂的控制模式，包括多个程序步骤、单和组运行、区域化加热和冷却以及用户定义的每个步骤的停留时间。清晰、直观的用户界面进一步简化了操作,并为您提供了一种安心的感觉,让您知道该工具正按照它所说的操作。此外,CENTROTHERM E 240还配备了一系列的附件,如可编程晶片支架、石英船和晶片板、温度传感器、压力抽头和排气阀。所有这些组件保证并保持最高水平的整体性能。E 240是中型和高容量半导体制造工艺的理想选择。它提供了快速的循环时间，卓越的温度控制和出色的颗粒控制，所有的操作容易和低的拥有成本，使所有权在任何生产环境中有吸引力。