二手 CENTROTHERM E2000 320-4 #293822993 待售

CENTROTHERM E2000/320-4是一种先进的扩散炉设备和相关配件，专门为半导体器件制造的最新工艺而设计。具有高性能、高材料效率和优良的温度均匀性。该系统的高级自动化和控制功能使编程变得简单易用。CENTROTHERM E2000 320-4最大容量为4个晶圆，具有滑入式结构，6英寸至8英寸晶圆直径范围。适用于需要低温梯度、进料完全去除、停机时间最短的不同配方快速更换的热扩散和熔炉。该单元非常适合所有类型的外延工艺，设计目的是满足半导体制造商的需求。使用空气/水换热器（AHX）单元可达到最高质量的传热和均匀的温度分布。这样可以确保晶片被均匀加热，同时保持它们在所需温度下的可靠性。E2000/320-4能达到± 1°C或更好的温度均匀性,± 0.5°C具有极好的可重复性。自动化的集成控制功能有助于维护最佳流程环境,以实现最佳的设备性能。此外，扩散炉配有快速开启的真空隔离阀，让机器在紧急情况下快速通风。这是由一个集成的、强大的气背工具补充的，其极低的耗尽速度为3.5 m/s，减少了热扩散过程中晶片上残留的残留量。E2000 320-4配有先进的高性能配件,如极性调节器、冷却/加热资产和气体输送设备。这使得它适用于许多不同的扩散炉应用，并提供了最佳的精度控制。这些附件还具有全面的安全功能,包括接地故障中断器和对所有参数的多个故障检测。CENTROTHERM E2000/320-4易于安装、操作和维护,并带有明确的警告标志以防止滥用。它还包括额外的设计改进，如防反射涂层和优越的晶圆处理系统，实现高效的过程控制和一致的设备性能。