二手 CENTROTHERM E2000 HT 300-4 #293814965 待售
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ID: 293814965
晶圆大小: 12"
优质的: 2018
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) furnace, 12"
(2) Process chambers
Gas cabinet
Furnace
Loading board
Dry pump
Scrubber
Integrated Gas System (IGS) panel
2018 vintage.
CENTROTHERM E2000 HT 300-4扩散炉是一种高效的、用于扩散过程的在线浸泡炉顶部。它在水平石英管或类似石英容器中提供高达1200 °C的最高温度,为扩散过程提供充足的热能。可定制的密封技术也很容易实现,允许快速有效的连接。CENTROTHERM E2000HT 300-4炉具有四个独立控制的红外卤素加热区,以确保半导体晶片、硅晶体、金属合金、熔融石英等材料的温度和质量结果均匀。可调温度区的设计最大限度地提高了均匀性和效率。此外,该炉提供了可调的速度,以尽量减少热应力和加强过程稳定性.E2000-HT 300-4扩散炉具有单一气体扩散监测、完全可调的工艺参数、有限级保护、不受热点和不受控制的除气等特点。该炉由优质部件制成,包括耐腐蚀不锈钢,具有优异的耐久性和寿命。它还旨在最大限度地减少热量浪费和能源消耗,同时帮助保持最佳生产率。为增加便利,该炉还配有广泛选择的预装工艺程序、热转换配件和高级参数设置选项。这些工具为用户提供了高度的灵活性和对其扩散过程的控制。除了优秀的标准特性外,E2000 HT 300-4扩散炉还附带了广泛的附加配件,如扩散器、温度传感器、电表等。这些配件进一步提升了炉的整体能力,确保了优异的性能效果。总体而言,E2000HT 300-4扩散炉是一种可靠、强大的浸泡炉,提供卓越的工艺保护和最大的效率。它方便、可调的控件为用户提供了所有扩散过程的无与伦比的灵活性,以及各种附加配件,使扩散过程更加容易。炉子的无与伦比的价值、性能和耐久性是任何工业或学术实验室的理想选择。
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