二手 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9250379 待售

CENTROTHERM E2000 HT 410-4是晶圆制造中用于真空热处理的最先进的扩散炉及配件。该炉设计用于真空环境，有一个真空室和一个能够产生和维持低大气压力的真空设备。CENTROTHERM E2000HT 410-4使用耐火预热区和石墨加热元件,可快速准确地控制晶圆温度。扩散带由提供分布式气体流动的垂直石英管组成，以确保均匀和最佳的温度分布。E2000-HT 410-4配备了一个精密的高压控制器,可保持加工室内的最佳真空压力。它还具有动态压力监测系统，连续记录精确的性能数据，以解决问题和优化性能。CENTROTHERM E2000-HT 410-4能够一次处理多达四个晶片，并且设计用于超高精度和低温操作。它能够提供25°C至1600°C的温度，并且能够比传统的耐火材料设计更快地提供高达720°C的精确控制温度。这款柔性炉还配有种类繁多的配件，以支持其多种应用。其中包括真空/气体溷合装置、回填不锈钢波纹管、多区温度控制器、He-N2气流控制、先进绝缘机和多区温度监测工具。此外，该炉还配有石墨敏感器、基板支架和惰性气体输送资产，可在整个阶段均匀分配气体。E 2000 HT 410-4是一种可靠的高性能扩散炉及其附件,在晶圆制造中真空热处理方面提供了令人难以置信的精度和控制。它是实现超高精度的绝佳工具,可以处理各种过程和温度,确保用户充分利用热处理。