二手 CENTROTHERM VLO 180-H2 #9255736 待售

CENTROTHERM VLO 180-H2是CENTROTHERM VLO系列产品的扩散炉及附件。该产品专为电子应用而设计,在加热和冷却周期的所有级别上提供高精度的温度控制。VLO 180-H2针对常用于微电子和光电工业的金属有机气相外延生长过程进行了优化。CENTROTHERM VLO 180-H2采用模块化结构设计,由一个底板长度为1800 mm的热壁炉和一个DM-210主控制器组成,可独立操作,最多可附加三个模块。它提供了从300°C到1300°C的各种工艺温度,并能够监控多个热区,使其适合各种应用和工艺。加长的热墙长度，加上自运底座和气体分配室，使其可靠高效。VLO 180-H2配备了CVD性能套件,包括多区传感器电阻器、带有不锈钢流量计的前后净化和顶部/底部气体阀,以及优化的热轮廓以减少应力。先进的热剖面由四个预定义的超高质量外延膜温度级组成。它还采用了八区加热器，25瓦/厘米²耗散功率和双洗涤器组合。设计包括一个用于日常维护的自上而下的磁化器升降系统，以及一个可变/可调的磁化器直径，以实现最佳的均匀性。CENTROTHERM VLO 180-H2具有高度精确的温度控制系统,其设计具有可靠的工艺参数集成,具有更高的温度均匀性的石墨敏感器,以及用于更好地控制热循环的电气测量。VLO 180-H2的紧凑性和灵活性使其适用于电子行业的广泛应用,其特点包括用于在线过程诊断的远程监控系统,以及允许简化过程和高质量结果的自动接口。