二手 CETC SYQ-150TS #9076766 待售

CETC SYQ-150TS是为半导体行业内的高温作业而设计的扩散炉及配套配件。本产品的特点包括高温耐久性、温度均匀性和一致的结果。炉孔由石墨制成，石墨是一种丰富的碳基材料，可抵抗高至2,800˚C的高温，具有惰性和无腐蚀性。此外，石墨孔也比金属更耐热冲击。钻孔也经过精确加工，以确保微米精度。扩散炉采用空气冷却和强制空气对流风扇，以确保冷却性能保持最佳状态以达到最佳性能。空气冷却系统保持±2˚C的温度均匀性。烤箱加工区温度均匀，可加热至2,200˚C。它的温度上升速度是20˚C-40˚C/min，它有一个数字显示，显示一个实时读出的温度。前面板还有一个控制器,用户可以轻松地为该过程设置适当的温度。加热机构使用四区加热元件，使用户可以分别控制每个加热区，从而优化温度剖面。四区加热可确保整个加工区保持温度均匀性。它还有助于使基质保持在均匀的温度，并防止热点的形成。底部炉膛用于输送晶片，由防止热降解的耐热材料制成。陶瓷水冷底炉设计为防止晶片或封装材料变色，使使用者能够进行高温作业而不会使晶片过热的风险。此外，SYQ-150TS还配备了一个国际标准合规性压力调节器，允许用户在必要时减压炉子。压力调节器防止炉子过压，会导致炉子过热。除了这些特点外，CETC SYQ-150TS还附有多种配件，如管式炉、石英管、等温屏蔽等各种工具。SYQ-150TS扩散炉及其附属配件一起设计，可以精确、均匀地进行各种工艺。