二手 CHIYODA ELECTRONICS ACS-650 #9352553 待售

CHIYODA ELECTRONICATIONS ACS-650扩散炉是一种最先进的工具，旨在提供高度可靠的结果和精确的温度控制。它经常被用于金属和/或半导体材料在基板上的沉积，允许进行一系列的半导体研究和工艺开发。该炉具有坚固的设计，可用于薄膜沉积和掺杂等应用的稳定、控制良好的平台。ACS-650扩散炉装有一个单一的熔炉，可容纳高达600mm的材料，最高工作温度范围为1750 °C。该室的内部部件采用高级电炉材料建造，以确保安全有效的环境。它还具有开放式设计,便于访问和维护。CHIYODA ELECTRONICS ACS-650的高级控制系统提供了许多高级功能,包括温度配置文件控制器、实时配方、数据记录和蠕变平衡系统。配置文件控制器允许用户为优化的应用程序和材料配方创建和存储自定义的温度配置文件。实时配方功能使用户能够创建、存储和召回精确的温度配置文件,以获得最佳结果。数据记录系统允许用户跟踪和存储温度配置文件数据,以便以后进行比较和分析。蠕变平衡系统可确保在循环操作期间温度保持在范围内,从而提高精度。ACS-650还配备了一系列配件，以进一步提高其性能。炉盖包括带光源的位置窗和便于过程监控的摄像头。家具套件由坩埚盖、crucible lift、crucible tripods、水平挡板盘组成。Crucible cover可用于保护免受污染,而crucible lift允许方便地接触到crucible。水平挡板盘有助于保持材料在一个部分的腔室更大的控制和精度。此外，CHIYODA ELECTRONICS ACS-650包括一个用于精确控制过程中气体流动的高精度气体流量计，以及一个带有泄漏检测和安全装置的符合CEA标准的特殊气体系统。集成的安全系统允许在电力或N2流量损失时自动关闭。ACS-650扩散炉是半导体研究和工艺的绝佳工具。CHIYODA ELECTRONICS的强大设计、先进的控制系统和各种配件使ACS-650成为一种高度可靠、用户友好的解决方桉。