二手 DEGUSSA VKSQ 80-80-120 #9003361 待售

ID: 9003361
Vacuum furnace Operation temp: 150° C Watercooled: 100° C Capacitance (internal): 11750 L Capacitance (doble coat): 540 L Operating pressure (internal): -1 / +10 bar Operating pressure (doble coat): +1.5 bar Pump 1: VAROVAC S400F Pump 2: RUVAC RA3001 1991 vintage.
DEGUSSA VKSQ 80-80-120是一种高度通用的三区扩散炉及附件设备。它提供了对制造创新材料所需的工艺参数的精确控制,如III-V单晶和金属化陶瓷。该炉的工作原理是将诸如硅源材料等反应物引入加热区,然后在由第二层和在某些情况下由第三层扩散区控制的大气中进行处理,以产生更复杂的化合物。这种设计严密、经济高效的设备有助于消除大量能源和昂贵真空工艺的使用,并提供业界最高的产量。其基本部分由炉体、钨层堤、空气热交换器、烟气出口等组成。钨层库是热能来源,在空气热交换器预热进入的氧气、氮气或氙气被推入材料室之前,将材料室高温烘烤。烟气出口再利用一系列二次燃烧器和其他控制材料,从腔室排出热能。VKSQ的其他部件包括主加热室、绝缘衬里、温度测量系统和自动温度控制单元。主室具有大体积和多个加热区,促进增强扩散。硅源通过耐高温阀安全地引入腔室。绝缘衬里提供隔热室的保护层,温度测量机装有实时跟踪温度的高灵敏度温度传感器。最后,先进的温度控制工具会根据用户的预设规格自动调节温度。DEGUSSA VKSQ的设计目的是提供出色的结果,具有温度稳定性和工艺灵活性,有助于节省大量成本和减少材料浪费。它是一种高度可靠和耐用的设备,设计为长期耐高温供热。
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