二手 DENGYNG DF-40 #9309231 待售
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DENGYNG DF-40是一种垂直式扩散炉及其附件,为各种材料提供可靠的低温扩散处理。该炉可用于氧化和还原大气,可在高达1300 °C (2370 °F)的静止或高温范围内运行。DF-40的标准配置具有双级设计的垂直腔室,允许多个晶圆同时扩散。双级设计将富含反应物的加热气体穿过加热的晶片,然后在中性气态大气中冷却。这种技术允许过程的均匀性,并最大限度地减少和消除了对扩散后清洁步骤的需求。DENGYNG DF-40由于重载篮子,能够轻松容纳多达八块6英寸(150毫米)晶片。上室直径为12英寸(380mm),非常适合高厚度均匀性的薄膜。它还配备了一个自动关闭系统,以保护过程不受不必要的损坏和过热。扩散炉具有方便易读的控制面板,所有用户设置一目了然。自动配方编程功能通过预先设置给定过程的必要参数来帮助用户节省时间,以便快速、方便地复制。DF-40还装有两区热区温度控制系统,可以精确控制温度和生产时间。DENGYNG DF-40的外观嵌入了气流调节销规、进气控制阀、数字计时器等多项重要功能。此外,还安装了过温和低温传感器,以确保扩散过程中的安全性和准确性。安全锁安装在两侧,使用户可以用钥匙锁定腔室。为确保该工艺节能,该设备配备了特氟龙绝缘材料,有助于降低能耗。变频器是可调的,允许各种操作时间。DF-40还提供各种其他选项,如套筒、气体溷合等,以满足各种特定的扩散要求。总体而言,DENGYNG DF-40是为研究和工业应用而设计的可靠高效的工具,为低温扩散处理提供了理想的解决方桉。操作方便,具有自我诊断系统,确保安全和准确性达到最高标准。
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