二手 DIFF IFB-ZCL03A #9292370 待售
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DIFF IFB-ZCL03A是专为半导体晶片的高精度扩散退火而设计的精密电炉。炉子采用独特的线圈设计,精心设计的线段达到最高有效温度均匀性。线圈被封闭在一个密封的不锈钢室内,内衬陶瓷绝缘材料,并配有电子空气阀来控制腔内惰性气氛的流动。通过完全除气在整个过程中保持超高纯度气氛。这保证了稳定和清洁的扩散气氛,这对于扩散过程中的高质量结果至关重要。该炉保持稳定和受控的温度速率,以获得最佳退火效果.温度维持在+-2 °C以内,可设定低至10°C至1250°C的上限,精确度为+-1 °C。区域温度由PID控制保持,设备配备安全系统,具有紧急停止和温度对称传感器。它的温度曲线是用户可编程的,其加热速率可以达到2800 °C/min,这取决于炉子模型。IFB-ZCL03A具有+/-3 Pa的真空水平和+/-1 Pa的高真空,具有优异的冷却能力。它配备了气体扩散系统,具有涡轮分子泵和差压控制系统。它也可以连接到外部供气线路。炉体内径为138mm,最大烘烤长度为100 mm,残余真空为2.5 × 10-3 Pa,炉体坚固耐用,具有良好的防腐蚀性能和可靠性。它配有经认证可用于绝缘的保护性涂层和材料,以及高达1,000 ppm(百万分之一百万)的ROHS合规性。即使在高温下,这也能确保最大程度的安全以及稳定的热环境。它还设计用于一系列环境,如洁净室和实验室设置,并可与标准防护设备一起使用。DIFF IFB-ZCL03A是半导体晶片扩散退火的绝佳选择。其强大的设计、精确的温度控制和出色的真空能力使其成为商业和研究应用的理想选择。这种高能效、可靠的熔炉可以为用户提供优异的效果,确保最高产量和可重复性。
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