二手 DIRE 10 #9119220 待售
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ID: 9119220
晶圆大小: 5"-8”
优质的: 1992
Furnace, 5"-8”
(2) Tubes of LPCVD (Flat Poly & BPSG)
(2) Tubes of Wet Ox
7680 Loaders
Direction Saddles and Door Closures
Breakers in Offset Shroud
ASEA Breakers
2962044 cores, 1150C max on tubes 1 & 2 (Wet Ox)
2962079 cores, 1000C max on tubes 3 & 4 (Poly & PSG)
Transformers ok for 8” and/or high temp
Setup for 5” wafers. Can be upgraded to 8”
7630 Temp Controllers
Internal Torch (Tube 1)
Old style 7618 External Torch (Tube 2)•
(2) Schumacher ATCS15 Bubbler controllers for TCA
Unit 1100 and 2020 MFCs
Internal UPS
Individual Input and Output modules
Bulkhead cabling
55x22 Software
(2) 7900 Atmospheric Gas Modules (tubes 1 & 2)
(2) 8100 LPCVD Gas Modules (tubes 3 & 4)
Pumps, fore lines, vacuum components for the two LPCVD tubes are not included
1992 vintage.
DIRE 10是一种扩散炉及其附属配件，用于生产硅（Si）和掺杂多晶硅（DPSC）。熔炉及其配件是开发高性能半导体的宝贵工具。10个炉可以在高达1150°C的温度下工作，并且能够进行长达30小时的运行。配备先进的自动控制设备，利用无缝加热和冷却系统，确保精度和效率。该系统允许严密的温度控制和可靠的结果。该炉还配备了自动石英和氧化铝的坩埚系统，以确保均匀加热和均匀掺杂。这个单元允许氮、磷和硼前体的出色的铅掺杂，也可以使用的是氙掺杂。Crucible由大功率灯供电，最多可产生7.5kW/cm2高效分配的功率。熔炉的附件包括石英和氧化铝消耗品以及为优化性能和安全性而设计的辅助部件。石英和氧化铝消耗品的设计旨在防止炉子受到污染，并确保气体和试剂不被溷合。辅助部件可以有效地填充和排出炉子，并能精确地控制生皮温度。DIRE 10还包括一个气体和试剂输送机，其设计提供准确的流量控制和一致的结果。该工具完全自动化，使用先进的传感器和控制器，以确保精确的操作和可靠的结果。10旨在为用户提供可靠和高效的扩散过程,从而实现高产和一贯优良的材料质量。凭借其高精度的温度控制、高效的石英和氧化铝消耗品以及自动化的气体和试剂输送资产，DIRE 10确保了一致的高性能结果。
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