二手 DSI SD-200 #156913 待售

DSI SD-200炉是一种先进的扩散设备，其设计目的是在制造过程中向硅片提供快速、高频的气体扩散，如氮气、氙气和氢气。该系统采用创新的四区区域炉设计，实现了整个炉的温度控制和均匀性非常精确。这有助于确保气体以一致的方式向晶圆中扩散。该装置还提供了一种独特的冷却机，有助于保持整个刀具的温度随时间的稳定和均匀，从而进一步提高扩散过程的质量和效率。SD-200扩散炉由三区感应加热模块、驱动发电机或晶闸管控制的固态开关LC过滤负载的固态电源、控制模块和软件控制面板组成。三区加热模组包含三个独特的加热区，分别设有温度感应器。利用这一资产，可以精确控制每个区域的温度，使热量和气体扩散均匀地应用到目标材料中。这允许有效和一致的材料扩散。该型号提供的固态电源可提供可重复、可靠的性能,并且能够为发电机和晶闸管控制的固态开关LC过滤负载提供所需的控制功率。通过将该装置与三区感应加热模块和软件控制面板相结合，DSI SD-200扩散设备能够提供准确和可重复的扩散结果。最后,系统还配有一系列附件和组件。其中包括电源补偿器、温度控制器、阀门模块、过滤器、传感器和惰性填充管。所有这些成分都可以用来进一步提高扩散过程的准确性、重复性和有效性。SD-200扩散炉旨在为半导体制造商提供高效可靠的扩散解决方桉。通过结合先进组件和受控加热模块，该单元能够提供可重复和一致的结果。通过采用创新的设计和随附的配件，DSI SD-200扩散炉为半导体制造商提供了一个方便可靠的工具。