二手 EUGENE BJM3000 #293587383 待售

EUGENE BJM3000是一种扩散炉及附件，由EUGENE Instruments Company设计生产。它是一种高效的多功能炉，非常适合半导体材料的退火和掺杂。BJM3000使用加热的真空室，结合强大的气流循环系统，为沉积过程创造一个统一的热环境。EUGENE BJM3000设计方便操作和维护,是任何实验室或生产环境的理想选择。它具有先进但用户友好的计算机控制系统,可精确控制所有过程的温度、流量和时间。这使得扩散过程中的精度、准确性和控制水平大大提高。BJM3000的设计包括一个单独的高真空室，连接到一个主工艺室。在工艺室内，用户可以从各种加热元件中选择：两个独立的电阻元件、两个单区微波源和四个感应线圈源。所有这些元素都可以同时活动和调整以提供所需的温度和流量控制。主加工室还设有多种工具，包括几个自动进纸器、一个石墨敏感器和一个晶圆装载器。EUGENE BJM3000还具有多项安全功能,如紧急关闭系统、区域隔离监视器和气压传感器。这些安全功能使用户能够安全地执行高温扩散过程。BJM3000配有一整套配件，包括一个强大的真空系统，一对热过滤器，和一个选择的背衬泵。还包括了种类繁多的油管、水泵和其他部件。该产品还提供全面的文档和技术支持。EUGENE BJM3000是寻找高性能、易于使用的扩散炉和附件的实验室和生产设施的理想选择。其多功能设计和先进的安全特性使其成为任何扩散过程应用的绝佳选择。