二手 EUGENE BJM3000 #9311273 待售

EUGENE BJM3000是一种扩散炉及辅助设备，用于半导体器件生产等工业中使用的各种材料的扩散。该系统主要由主炉、扩散室和辅助附件单元三部分组成。BJM3000的主炉具有较大的热质量，能够提供0至1650°C的温度范围。它具有双碳化硅（SiC）加热元件，具有独立的功率调节器，提供精确的热控制。主炉还配备了两个真空泵，一个惰性气体进气口和一个排气口，用于改进工艺大气维护。扩散室能够在480°C至1050 °C的温度下进行扩散过程。该室装有一块多区石英炉床板，用作加工材料的来源。石英炉床板的设计允许扩散气体与工艺晶片均匀相互作用。EUGENE BJM3000中的辅助附件单元包括一个用于气体分配和喷射的单元气箱、一个蒸汽喷射歧管以及一个用于加工室内和从刀具排出的气体的气体清洗机。它还具有一个带有图形用户界面的远程监控控制台，允许在必要时进行动态反应调整。BJM3000提供了一系列优化的解决方桉，从超低温炉到高温扩散。其高效的热管理为高端半导体器件生产提供了高性能、可靠、经济实惠的扩散解决方桉。