二手 FIRSTNANO EasyTube 3000 #293668360 待售
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ID: 293668360
Thermal furnace
Substrate sizes: 100 mm x 100 mm
UHP Gas lines: Up to 12 Mass Flow Control (MFC)
Automatic substrate loading/unloading system
CASCADE Process temperature control
Resistance furnace: 3 Zones
Temperature range: 1200 °C
High throughput with fastcool furnace.
FIRSTNANO EasyTube 3000是一种扩散炉及配件工具,为晶体生长提供了革命性而高效的方法。该系统非常适合晶体生长、退火和处理应用。EasyTube 3000能够以快速的加热速率提供高达1650°C的精确温度,有助于最大限度地提高工艺效率。这要归功于嵌入的单线钼-Rhenium (Mo-Re)加热元件和陶瓷纤维绝缘。这些组件具有极好的热稳定性,并确保对各种基板(包括硅和蓝宝石)的工艺参数进行适当的优化。FIRSTNANO EasyTube 3000还具有石墨管,可实现更好的热均匀性和精确的温度控制。这样可以实现更高的准确性,从而实现更紧密的流程窗口和更高的质量。此外,高效冷却周期可最大程度地减少热应力,防止设备退化。EasyTube 3000包括一套智能配件,包括用于控制大气的集成真空系统、用于数据采集的数字传感器以及用于自动化操作的实时控制软件。这些附件简化了数据采集和分析,从而可以对工艺参数进行深入表征。FIRSTNANO EasyTube 3000非常适合广泛的应用,包括通过蒸发、溅射和CVD工艺进行薄膜沉积。石墨管设计和低热质量有助于最大限度地减少寄生损失,改善热保护,最大限度地提高产量。此外,EasyTube 3000还具有坚固的结构和耐用的材料和组件,可确保可靠的操作和使用寿命。这样可以减少停机时间,并提供经济高效的解决方桉,实现可靠的晶体增长和设备处理。总体而言,FIRSTNANO EasyTube 3000是用于晶体生长、退火和处理应用的高效可靠的解决方桉。通过利用石墨管设计、高效冷却、智能附件和坚固结构等关键功能,此系统能够提供精确度、吞吐量和产量,从而实现卓越的性能。
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