二手 FLEXTRONICS DS-300 #9076765 待售

FLEXTRONICS DS-300是一种扩散炉及附件设备，设计用于半导体、MEMS等相关行业。它为各种应用提供高精度的热解，包括退火、氧化和扩散。该系统具有不锈钢腔室、护套式加热器和陶瓷保温套件，可实现更高的温度和均匀性控制。该室配有两个独立的热电堆，允许对环境和材料样品进行精确的温度控制。加热元件设计用于常规和连续操作，可以由计算机手动或远程操作。该机组设有高效的水冷却机，用于快速冷却和防止过热。DS-300设有温度控制和测量装置，以保持工艺温度和环境温度的均匀性。刀具的温度范围为环境温度至900 °C,精度为± 1 °C,稳定性为± 0.2°C。该资产还有一个内置气体净化模型，以确保高纯度扩散过程中的工艺气体质量。此外，该设备还提供了可编程时间控制器、数据采集系统、自动充气控制以及低压范围内运行的真空控制器等多种配件。FLEXTRONICS DS-300能够执行多达16种不同的扩散过程，包括氧化、氮化和快速热退火。它还配备了一个特殊的工艺气体单元，与惰性气体和反应性气体兼容。该机器具有许多优点，如实时反馈控制和数据记录功能，保证了准确和一致的结果。而且，热条件和工艺环境的均匀性由于使用先进技术而得以保持，使得高质量的材料可以在短时间内制造出来。总而言之，DS-300是一种高效的扩散炉及辅助工具，旨在满足现代电子和半导体器件制造的要求。它具有高度精确和统一的热管理资产、温度控制和测量装置、气体净化模型以及各种附件。所有这些特性使其成为电子和半导体行业各种应用的常规和连续材料加工的理想选择。