二手 FUJIFILM TC 2000 #9399084 待售

FUJIFILM TC 2000是一种扩散炉及相关配件，主要用于半导体制造作业。其目的是确保极薄的金属层成功沉积到硅片上。TC 2000的特点是一个主腔室有四个不锈钢结构区域，一个二次腔室有两个独立的区域。主室内部是隔热、自密封的隔热屏障和气流排气系统。四区可独立控制，用于进行各类工艺步骤，如氧化、氮化和深层扩散。FUJIFILM TC 2000利用一系列电阻加热元件，产生转化为热能的直接电能。这被转移到隔热层，从而确保均匀和均匀的热分布。使用可调温度控制器控制单个加热元件的温度,以确保过程一致。先进的基于PLC的闭环控制系统管理TC 2000的编程和操作。这包括PID控制的工艺室温度、门操作和报警管理功能。用户友好的触摸屏界面使FUJIFILM TC 2000编程变得快捷易用。TC 2000适用于各种应用方桉，如薄膜生长、活化回流、掺杂扩散和预热处理。它还被设计为与各种兼容配件如保温罩、连续轴和可移动真空端口一起使用，允许在多种设置中使用。在其标准配置中，富士FUJIFILM TC 2000附有三菱控制器、扩散升降机和网状加热元件，便于精确的层厚控制。它还包括多种安全特性，如蒸发气体的通风口、安全联锁和温度测量用的高温计。总体而言，TC 2000是一种可靠而强大的扩散炉，其设计符合最高制造要求。FUJIFILM TC 2000利用其先进的控制和加热元件,能够以高精度和重复性一致的方式提供薄而复杂的金属层。