二手 GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592 待售

GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000是一款专为半导体制造而设计的高性能自动扩散炉。它是一种多区域设备，每个区域都有独立的温度控制，可以达到1200 °C，用于热扩散、氧化、退火、快速热处理等相关加工。GASONICS HIPOX 6000可容纳直径最大8英寸的晶片，并有多种工艺气体输送选项。NOVELLUS HIPOX 6000包括一个石墨冷盖，带有集成的原位清洁屏蔽层，可用于减少进入炉房的颗粒，并减少已经存在的颗粒。该炉设计有一个中心安装、可编程的两区传送带，以手动或自动模式运行，用于批量处理。皮带可以在任何时间运行多达12个晶片。它还为冷却室提供了一个选项,可利用外部风扇快速冷却。HIPOX 6000的集成控制系统由工业PC核心和用户友好的触摸屏界面组成。它能够存储多达100个配方，并且可以存储多达32个晶圆批次，以便于简单召回。控制单元允许用户独立监控和调整每个区域，允许精确的过程控制。GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000是一款先进的炉，提供可靠的温度控制和低粒子产生能力的高性能。其先进的设计使其能够以原位清洁功能执行定制配方。它还具有高吞吐量的能力，每运行12晶圆容量和快速冷却能力。集成控制机为用户提供了准确、自信地监控和调整过程参数的能力。