二手 GASONICS / NOVELLUS HIPOX #293770796 待售

GASONICS/NOVELLUS HIPOX是一种专为满足半导体器件制造需要而设计的高度先进的扩散炉。这种设备通过化学或物理气相沉积（CVD/PVD）工艺将固体材料如硅蒸发到表面上。蒸发过程，或称"扩散"，是在含有惰性气体的真空室中进行的。要涂覆的基板表面保持在受控温度，同时将蒸发的材料驱动到基板上。该系统建立在一个闭环热框架设计，其中工艺室安装在框架和加热两个内部加热元件。加热是通过一种惰性气体溷合物控制的，这种溷合物被引入室内，蒸气通过部分真空排气装置排出。汽化材料通过热气动态机器驱动通过腔室，从而确保材料在表面上的均匀分布。GASONICS HIPOX工具提供了多种过程可能性，使用户能够根据其特定应用准确地定制其过程条件。它具有综合的过程监测和控制能力，能够在腔室内安装探测器，以监测过程的参数，如压力、温度和气体流动。资产由自己独立控制的三相电源供电。NOVELLUS HIPOX模型的鲁棒性设计确保了高工艺产量，并产生了极好的微精度沉积。此外，该设备还提供两种烤箱加热功能：短期使用的闪光加热和长期使用的底部加热。该系统还设有预热室，以确保过程温度始终保持不变。HIPOX扩散炉是一种设计精良、高效的装置，能够为高速制造高精度部件提供可重复的动态涂层。它可以容纳广泛的基材尺寸，可以调整以满足最严格的工艺要求。其全面的过程监测和控制能力提高了效率，而框架设计和坚固的结构确保了可靠的性能。这台机器非常适合要求高精度和可重复性以及高质量表面精加工的应用。