二手 GT SOLAR 1001057 #9236068 待售

GT SOLAR 1001057是GT SOLAR系列扩散系统的扩散炉及配件，旨在为各种基材提供最高质量的热处理。这种可靠、高效、经济高效的扩散解决方桉非常适合各种应用，如制造微电子工业中使用的薄膜器件。1001057配有强大的双模电源、高温控制模块、高效送气系统。该装置设有扩散室、涡轮泵设备和集成的可选热成像套件。它还配备了真空传感器，以及射频和光学控制功能。这种扩散系统能够提供高达1000 °C的温度过程，具有高度的精确度和可重复性，同时以一致的气体流量和压力运行。集成高温控制模块设计为提供卓越的过程控制，允许用户在手动流体动力和流体动力压力模式之间切换。热区、高灵敏度温度传感器、红外热电筒都包含在单元中，可以进行准确的过程监测和控制。这台机器能够加工任何类型的晶圆，如多晶硅、砷化​​氙、磷化氙和碳化硅。GT SOLAR 1001057可以加工200毫米（8英寸）大小的基板，高温极限为1350 °C。该工具具有许多高级功能，包括可编程参数、历史配方管理和热成像。射频加热设备可最大限度地降低不均匀的风险，综合污染控制模型可确保操作的一致性和效率。此外，还包括了Chamber Cleaner功能，以在设备使用期间保持腔室衬里、盖子和闸门阀的清洁和无化学反应。这就是说，该系统设计方便操作和维护，使其成为自动化生产线或人工操作的理想选择。1001057扩散炉及配件是任何生产线可靠高效的选择。它的多用途操作允许用户处理广泛的基板，具有优越的和可重复的过程结果。高温处理功能、用户友好的界面和健壮的构造使此单元成为任何应用程序的理想选择。