二手 GT SOLAR 1001057 #9236070 待售
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GT SOLAR 1001057是用于半导体制造工艺的扩散炉及配件。它是一种高真空扩散炉,能够在环境温度下达到1100 °C,并能达到1.3x10-6 Torr的压力,为半导体晶片的蚀刻、沉积和制造提供最佳环境。该扩散炉由炉、室、配件三部分组成.该炉是该装置的主体,包括供气和真空系统,可精确控制扩散炉室内的环境条件。腔室是容纳正在加工的晶片的外壳,由加热元件加热以达到所需温度。附件包括用于处理正在处理的晶片的特殊工具,如用于固定晶片的基座、用于固定晶片的升降器或夹具,以及用于将晶片连接到炉子的适配器。扩散炉具有各种防止晶圆和熔炉损坏的安全特性。它有一个石英窗口,允许目视检查腔内的过程,而不必打开腔室并放出有害物质。它还有一个自动关闭系统,如果温度和/或压力水平超过设定的阈值,它将关闭炉子。这种扩散炉的另一个特点是其环保设计。腔室由不锈钢制成,即使在高温下也不会降解。这有助于减少炉子产生的排放量,并保持周围环境的清洁和安全。1001057扩散炉是同类中最好的,提供精确控制的环境温度和压力水平,实现半导体晶片的精确生长和蚀刻。其先进的特点和安全协议使其非常适合集成电路生产过程。
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