二手 GT SOLAR 513349 #9236055 待售

GT SOLAR 513349是一款扩散炉及配件，旨在为生产优质可靠的晶硅太阳能晶片提供特点。产品由内室和外室组成，外室由排气设备、低压水歧管和可调安全阀组成。它还具有两个感应线圈，用于将磷、硼和其他材料扩散到硅基板中。扩散炉采用感应加热系统结合密封室和水冷机组，以提供精确的温度和大气控制。感应加热机能够为硅扩散提供1670°C（3038 °F）的最高温度，并由电脑接驳的PLC/控制单元控制，带有触摸屏显示器。该炉在10-2毫巴的真空条件下运行，其特点是由氮气、氙气和氧气与DEOS工具溷合而成。这样可以防止扩散过程中的氧化。炉子配有隔膜泵，将稀有气体泵出腔室，保持低水平的背景氧气。利用热力学模型计算出的硅蒸气压力来精确预测扩散过程中的温度。该产品还具有衬套式气体进料资产，可在整个扩散室中注入硼、磷和其他材料。使用精确测量系统对材料进行计量。该产品有一艘180毫米直径的硅酸铵船，由机电定位模型控制。为了安全起见，该产品还包括一个紧急停止设备以及各种防止腔室过压的安全阀和安全阀。室内外墙体采用高级304不锈钢制成，五面锥形顶盖保证了充足的均匀加热和最大效率。该产品是生产优质可靠硅太阳能晶片的绝佳选择。将扩散炉的精度和精确度与套管式气体进料系统相结合，对太阳能晶片生产的温度和物料输入量进行了精确控制。该产品符合安全规定，效率高，适合生产种类繁多的太阳能晶片。