二手 GT SOLAR 513349 #9236058 待售
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GT SOLAR 513349是一种扩散炉及相关配件,用于半导体工业中,用于与特定材料的沉积和外延有关的热过程。适用于半导体制造中发现的高温扩散应用,如硅片加工、III-V半导体沉积、薄膜光伏器件制造等。这种扩散炉的设计允许高水平的控制和精度,以尽量减少工艺损失和提高产量。它具有多种功能,例如易于维护的石英衬砌腔室、高度先进的温度控制设备、用于监控给定工艺所有参数的过程跟踪功能,以及各种附加附件以最大限度地提高生产率。该炉由于具有精确控制温度的能力,以及通过将其他各种工艺整合到主作业中来优化沉积过程的能力,非常适合与许多材料配合使用。这包括应用气相掺杂和去除不必要的材料层。该炉的设计也以安全为优先事项,其烘烤防护措施旨在保护工作人员不会过度接触有毒气体,此外还有紧急关闭系统,以防止可能造成财产损害的失控过程温度。513349还可以与种类繁多的诊断系统集成,允许远程性能管理;这不仅是针对自己的系统,而且还允许集成其他供应商的兼容系统。总体而言,GT SOLAR 513349扩散炉及其相关配件为用户提供了一个高效可靠的高温扩散系统,其功能旨在支持和提高该工艺的产量。它具有高度先进的温度控制、工艺跟踪功能和安全操作,是半导体应用的理想解决方桉。
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