二手 GT SOLAR 513349 #9236074 待售

GT SOLAR 513349是一个扩散炉和相关的附件套件，用于形成半导体膜，键合晶片和创建金属化层。作为GT SOLAR 51334 x扩散系列系列产品中的最新产品,513349提供了一套与其前代产品相比更好的功能。GT SOLAR 513349提供了不少于2,500 mm2的工作区域,最大基板尺寸为125mm,允许运行更大规模的工艺,而无需额外的固定装置。支持高达1150°C的温度,513349具有PECVD、PVD、ALD等先进技术。炉子可以与氮气、氙气、氢气、氦气或其任何组合一起使用。能量/氧化物比率可从500：1到2500：1以5个增量进行调节,以完全控制电池电平调制。可选择10种不同的功率分布,最多可提供5个外部射频源。GT SOLAR 513349还具有ISO 5级洁净室,可确保加工区域不受外部污染物的污染。还有一个1 mT的集成二次真空，分辨率为1 x 10-6 mbar，以及从25°C到200°C可调节的底板温度。在增加的安全性方面，513349配有多个紧急关闭系统，包括通过检查窗口的停电、炉子中断、限温器、热冲击防护等。该型号还包括一块2.5厘米厚的氧化铝板，便于清洗和维护，以及一个带有单独的气体入口、出口和储层的气盒，既用于氮气也用于氙气。总体而言,GT SOLAR 513349是一种通用的专用扩散炉和附件封装,专为跨半导体和金属化层的工业级工艺而设计。它不仅被证明是可靠和准确的,而且还提供了一系列安全措施,使其成为许多处理专业人员的首选。