二手 HIKE DJ1223V CX3 #9262170 待售

HIKE DJ1223V CX3扩散炉是一种完全集成的垂直扩散炉，专为高性能的过程开发和生产活动而设计。它配备了多种特性，提高了扩散过程的速度和精度。该炉由多层金属板、两个独立的腔室和三个独立操作的载荷锁构成，效率最高。炉顶室为驱动室，容纳专利的HIKE驱动杆设备。传动杆系统由四根杆组成，这些杆与炉膛相连，可以完全控制扩散过程中使用的温度。该传动单元设计为在操作过程中提供最佳效率,并且易于调节以处理不同的材料和温度。DJ1223V CX3上的负载锁通过集成可编程逻辑控制器（PLC）操作。载荷锁具有三个隔离腔室，可在不污染加工腔室的情况下从炉子中插入和去除晶片或基板。三个腔室中的每个腔室最多可处理6 "x 6"晶圆，在扩散过程中可单独编程以进行高精度控制。炉底室是电阻加热元件的所在地，其保持炉温均匀，最高温度为1300 °C。该元件能够维持15至400°C的工艺温度,并对所有工艺步骤进行精确的温度控制。然后，加热的空气通过鼓风机在整个炉室中循环，该鼓风机在样品表面提供均匀的温度，从而实现精确和可重复的扩散过程。HIKE DJ1223V CX3扩散炉能够进行各种工艺周期的工艺开发和生产活动。它还具有几个有助于过程监测的功能，包括用于温度控制的铬铝热电偶、便于查看载荷锁的集成石英卤素室灯和内置晶圆映射功能。所有这些特性使DJ1223V CX3成为一个坚固而强大的扩散炉，可用于各种应用。