二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1206V #9377438 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-1206V扩散炉及其附件为扩散、预扩散和退火过程提供了一种自动化和高效的解决方桉。该炉采用5个热区和1个分层晶圆加工后装区的顶装设计，采用4个加热盒设备，供热均匀性显着。一个5级升降系统允许进入晶片，也用作隔热罩。HITACHI DD-1206V采用6室设计,可实现快速热循环和过程稳定性。温度高达1160°C,快速冷却速度高达250°C/秒,因此该炉几乎可以实现任何应用的最佳性能。它还具有PID闭环控制、基于边缘的温度控制和精确的热调节等特点。该炉采用直观的软件界面和随附的HCC2热板装置实现全自动。可选的气体辅助控制器（GAC）是KOKUSAI DD-1206V的宝贵补充,可让用户快速轻松地调节气体流量。DD-1206V还配有一系列配件,可提高便利性和可用性。自动晶片托运人是瑞士式晶片高效装卸的理想选择。可配置的手推车机器允许在炉内快速、精确地移动多达10个盒式磁带。HITACHI/KOKUSAI DD-1206V还允许用户轻松监控其流程。现场剖析可与可选的集成红外热成像和热压光学传感器配合使用，以提高工艺能见度和控制。具有逻辑控制和配方管理功能的高级软件界面允许用户通过几次简单的单击来配置、监视和调整其流程。总之，HITACHI DD-1206V扩散炉及其附件为广泛的应用提供了高效有效的解决方桉。通过高级控制、自动化功能和外围设备附件,熔炉为用户提供了强大的过程控制、可靠性和经济性。