二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM #9251483 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM
ID: 9251483
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Diffusion furnace, 12" 2004 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DM是为研究和工业应用而设计的高密度扩散炉和辅助设备套件的顶端。它配备了一个强大的800瓦1.65英寸直径的炉头,能够扩散过程高达1200摄氏度。该装置还具有真空密封盖、数字工艺控制和可编程的温度坡道,可用于精确的高密度高温扩散应用。HITACHI DD-1206VN-DM还包括另外三个附属单位;气体输送系统、排气罩和控制台。气体输送系统允许维持、控制和向扩散室提供两种不同的气体大气。这可用于模拟复杂的热处理,如等温热处理,也可用作原位氧化或浓度处理。辅助主体的专门设计,包括用于精确气体控制的可调流量计和用于流动分布的三向阀,使位于炉体后部的两个气体出口中的任何一个能够向炉体供应不同的气体。KOKUSAI DD-1206VN-DM还配备了气体排气罩,设计方便安装到扩散室顶部。这个引擎盖包含一个排气口和一个真空泵,以便在选定的过程中能够精确地清除炉内的气体。DD-1206VN-DM通过显示扩散过程所有必要信息的集成控制台进行控制;设置温度和大气气体类型等各种工艺参数,以及炉功率使用、温度功能和炉现状等监测功能。综上所述,HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DM是一种先进的扩散炉和附件装置,能够在各种大气中运行精确的高温扩散过程。它具有强大的800瓦炉头、数字化过程控制、三个辅助单元和一个控制台。
还没有评论