二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9351374 待售
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HitachiHITACHI/KOKUSAI DD-1223V是一种最先进的扩散炉,专门为金属/Si和低温工艺等半导体加工应用而开发。它是HITACHI系列扩散炉中较先进的型号之一,具有卓越的技术、性能、可靠性和用户友好性。HITACHI DD-1223V具有快速热处理和瞬态氧化循环的能力,可产生最高等级的单晶圆加工。它的开放式框架设计只能容纳各种工具配置,包括可选CVD插件的选项。炉子本身设计紧凑坚固,尺寸紧凑,结构轻巧但坚韧,可提供卓越的刚度和减振效果。结果,加热精度得到提高,允许准确一致的处理。KOKUSAI DD-1223V有两种加热装置可选:电阻或专用燃气燃烧器。两者易于使用和维护,并提供高达1100 °C的可调温度。特别是电力设备效率高,提供可靠的供暖,不受附近来源的干扰。CVD插件在使用时支持大气的简化替换,而晶圆在相同的温度和性能下运行。集成控制器系统兼容所有主要工艺室系统,并提供了广泛的功能,包括全彩色图形、实时显示和监控、低角度观察窗口以及先进的多区域编程。直观的用户界面使设置和操作变得容易,支持软件允许从远程位置进行访问。最后,安全是DD-1223V的关键要素,具有各种安全增强功能,如自动循环开启装置,以防止潜在的残留温度。此外,还有一个集成的锁定机器,可确保安全防范错误,并防止压力变化和湿气。为确保最大效果,HITACHI/KOKUSAI DD-1223V由一整套附件支持,包括炉子、控制器、计时器和探测器。还提供一系列售后服务和支持,包括技术援助、定期维护和校准操作。总之,日立DD-1223V是一种创新、高效、可靠的扩散炉,非常适合各种用途。其优越的设计和构造,加上其广泛的用户友好特性,使其成为半导体加工行业专业人士的理想选择。
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