二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1223VN #9285063 待售
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HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN是一种先进的扩散炉和配件,设计用于半导体制造和研究环境。该扩散炉能够对各种材料和基板进行快速热处理,从而对加热速率和温度进行高精度控制。设备由一个电源机架模块、一个主控制器单元、两个独立控制的crucible、一个加热器块和一个精密温度控制器单元组成。电源机架模块同时容纳主电源和加热器块,设计用于保持稳定电压,用于精确扩散加热。主控制器作为"大脑"工作并允许用户通过直观的图形界面来控制两个crucible的温度。这两个Crucible可以独立控制,加热到1150 C的最高温度,温度斜坡速率高达300 C/秒。加热器块由多个石墨块组成,每个石墨块都附着在热电偶上,以便在整个块表面实现精确的温度。为了提高安全性和准确性,将加热器块和crucibles封装在石英室中。精密温度控制器单元在扩散过程中,对两个crucibles均进行1°C或更好的恒温监控,并具有多种自动功能,以确保精确加热。HITACHI DD-1223VN还包括各种安全功能。石墨块设计为防止加热元件与样品基板接触,石英室设计为防止热量扩散到周围环境。此外,氮气净化装置有助于防止氧化,冷却和洗涤机有助于减少过程中的灰尘和废气。总之,KOKUSAI DD-1223VN是一种先进的扩散炉及其附件,旨在为半导体制造和研究环境提供最大精度和可靠性。其电源机架模块、主控制器单元、两个独立控制的crucible、加热器块、精密温度控制器单元均协同工作,提供可靠的扩散处理。而且它的一系列安全功能确保了一个安全、准确和高效的过程。
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