二手 HITACHI KOKUSAI DD-1223VN #9293898 待售

HITACHI KOKUSAI DD-1223VN是专门为扩散过程设计的高性能扩散炉。它具有处理广泛产品的能力，从半导体器件到其他产品如晶圆、粉末和薄膜。高功率扩散过程有可能与炉子的半反应堆室，允许高水平的效率和功率。它具有耐用的不锈钢结构和石墨加热元件，即使在高温条件下也能确保可靠的操作。该炉有两个独立的控制器，允许有效的加热控制、温度剖面设置和循环重复性。该炉还有一个内置的安全系统，在半导体器件生产环境中使用扩散炉是必不可少的。这确保了安全可靠的操作，不会发生爆炸或其他事故。它还有一个自动气体关闭系统，以确保氧气不会进入加工区域。DD-1223VN最令人印象深刻的特点之一是其出色的准确性和可重复性。这确保了扩散过程是合格和可靠的。该炉还具有极好的温度均匀性，在过程中始终避免使用所谓的"热点"。此外，该炉还具有两个独立的温度传感器（K型热电偶），以及两条独立的气线，意味着两种不同的气体可以同时在炉的不同区域使用。这允许在同一基板上进行多层扩散过程。此外，它还有一个气体溷合室，以提供对气体流动和浓度的精确控制。为了保证扩散过程的最佳效率，该炉还具有高精度气体喷射系统。这确保了气体被适当地注入和分布在整个腔室，从而产生一个均匀的过程。此外，惰性气体可通过炉侧进气口供应，以增加安全性和统一的工艺条件。最后,HITACHI KOKUSAI DD-1223VN还包括一项低成本、无与伦比的现场安装服务,可确保安装过程尽可能轻松。有了这些特点，这种扩散炉提供了卓越的性能和可靠性，使其非常适合在任何应用中使用。