二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608646 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H扩散炉及其附件是一种高度通用和可靠的半导体器件热处理设备。该系统具有高温高压处理功能,可处理高达1500 °C的各种应用程序。该单元包括一个扩散炉，内部加热元件，以及灵活的加热气体和腔室压力控制。扩散炉内径为9英寸，单高室，允许最大工件尺寸为8英寸x 8英寸。主室由两（2）个可定向调节的二硅化钼（MoSi2）加热元件加热，精确度± 1°C。这台机器还提供两（2）个定向可调二次加热元件，每个加热至1000°C的最高温度，精度± 3°C。为了提高精度,HITACHI DD-802V-H还提供了一种冷却工具,可以将腔室内的温度降低到低于初始温度10°C。KOKUSAI DD-802V-H资产还允许室内各种气氛。氮气和惰性气体可通过侧壁入口引入，流量高达每分钟10升。外部气体循环的另一个港口允许控制更具侵略性的大气，例如氧化大气。除了气流控制外，该车型还能控制腔室压力，有两个进气口和一个排气口，均具有可调压力设置。为确保最佳加工条件和安全，DD-802V-H配备了多项控制和监控功能，包括用于监测温度、压力和湿度的自动化设备。该系统还设有一个在紧急情况下立即切断腔室电源的关闭装置，以及一个用于防止过压的先进减压阀。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H扩散炉及配件非常适合用于从半导体加工到光伏器件生产的各种应用。这台机器提供了最高水平的安全和可靠性，由于其自动化的控制和监控功能，多用途的大气，以及精确的加热元件。对于为其应用程序寻求高温高压处理的企业来说,HITACHI DD-802V-H是理想的解决方桉。