二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226000 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9226000
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Vertical furnaces, 6" 1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一种用于半导体器件制造的扩散炉及附件。它设计用于在高真空条件下快速、准确地进行晶片的热处理。HITACHI DD-802V-H具有一个V-h形石英管和两个紧凑的垂直热化型线圈。它配备了气体冷却设备、热壁式搅拌器、高速倾斜机构。KOKUSAI DD-802V-H能够在高达1000℃的高温和低压下进行扩散处理。由于采用高性能热耦合,具有较高的温度均匀性,具有较高的可重复性。这样可以精确控制温度均匀性,从而实现热氧化、杂质活化和细线模式创建等过程。DD-802V-H有一个石英管,具有双热室设计。这种安排允许通过膨胀和分配释放的能量提供更有效的传热来改善温度分布。它还有一个自动装载机,在进行大规模扩散处理时简化操作,尽量减少等待时间。此外,HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H提供了一种气体控制设备,用户可以根据特定条件和过程对气体流量进行精细调整。HITACHI DD-802V-H具有出色的运行能力,维护效率低。它由单相208V交流电源供电。它的其他特点包括大功率手动升降机、倾斜机构、气体冷却系统以及可调节的加热器和温度控制器。这使得KOKUSAI DD-802V-H一个可靠和高效的单元,适合各种应用和过程。总之,DD-802V-H是一种用于高真空条件下晶片快速准确热处理的扩散炉及其附件。它有石英管、自动装载机、气体控制装置和倾斜机构,用于精确的温度控制。它采用单相208V电源供电,维护成本低。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一种适用于一系列应用程序和过程的理想机器。
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