二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226001 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一种扩散炉和附件，设计用于电子工业的许多不同应用。该设备用于高温化学气相沉积、高温光子固化和物理气相沉积前的预退火。扩散炉由微处理器控制的多参数编程系统操作，界面简单易用。此单元允许最多存储36种不同的流程配方，因此用户可以快速准确地执行不同的流程，而无需对每个流程进行重新编程。HRF-802V-H的腔室采用耐高温不锈钢结构，并配有热步进腔室衬里，以确保最高温度均匀性和柔韧性。垂直升降门允许基板容易对准，侧开室设计提供更均匀的温度控制。炉的温度范围为500至1100 °C，设有半固定式前装载机和后卸载门。Crucible设计用于高温工艺，采用全不锈钢结构，包括两层石墨绝缘机。屏蔽板式电加热元件，使工艺介质远离元件。可选的全陶瓷桨允许在处理过程中控制介质传输。一个可选的气体控制工具还可以在处理过程中对大气进行单独和准确的控制。附件套件旨在确保用户能够快速准确地执行流程,提供高质量的最终产品。它包括绝缘和金属化套件，允许测试隔离和互连；通用融合网格套件；以及铝蒸发船。套件中还有一套软管和管道，用于连接腔室和真空系统。HRF-802V-H的电子功能旨在提供准确的控制和读出所有参数。真空资产采用数字读出的多级真空泵设计，可处理高达10-6 torr的过程。该炉还有一个创新的温度输出模型，直接连接到PC进行精密的测井和监控。HITACHI DD-802V-H是一种强大的扩散炉和附件设备，设计精确度和灵活性，以满足电子行业的各种需求。该系统能够快速可靠地产生高质量的结果，是业内众多应用的绝佳选择。